실리콘 웨이퍼 절단은 녹색 탄화규소 분말 1000#1200#1500#을 사용합니다.
카보런덤으로도 알려진 탄화규소(SiC)는 화학식 SiC를 갖는 규소와 탄소의 화합물입니다. 그것은 매우 희귀한 광물 모이사나이트로 자연에서 발생합니다. 합성 탄화규소 분말은 연마재로 사용하기 위해 1893년부터 대량 생산되었습니다. 탄화규소 입자는 소결에 의해 함께 결합되어 매우 단단한 세라믹을 형성할 수 있으며, 이는 자동차 브레이크, 자동차 클러치 및 방탄 조끼의 세라믹 플레이트와 같이 높은 내구성을 요구하는 응용 분야에 널리 사용됩니다. 초기 라디오에서 발광 다이오드(LED) 및 감지기와 같은 탄화규소의 전자 응용은 1907년경에 처음으로 시연되었습니다. SiC는 고온 또는 고전압 또는 둘 다에서 작동하는 반도체 전자 장치에 사용됩니다. 실리콘 카바이드의 큰 단결정은 Lely 방법으로 성장할 수 있습니다. 합성 모이사나이트로 알려진 보석으로 절단될 수 있습니다. 높은 표면적을 가진 탄화규소는 식물 재료에 포함된 SiO2에서 생산할 수 있습니다.
| 입자 크기 | 입자 분포(μm) | |||
| 최대 입자 크기 | d 03 에서의 입자 크기 | d 50 에서의 입자 크기 | d 94 에서의 입자 크기 | |
| # 240 | ≤ 127 | ≤ 103 | 58.6 ± 3.0 | ≥ 40.0 |
| # 280 | ≤ 112 | ≤ 87.0 | 49.4 ± 3.0 | ≥ 33.0 |
| # 320 | ≤ 98.0 | ≤ 74.0 | 41.1 ± 2.5 | ≥ 27.0 |
| # 360 | ≤ 86.0 | ≤ 66.0 | 36.1 ± 2.0 | ≥ 23.0 |
| # 400 | ≤ 75.0 | ≤ 58.0 | 30.9 ± 2.0 | ≥ 20.0 |
| # 500 | ≤ 63.0 | ≤ 50.0 | 26.4 ± 2.0 | ≥ 16.0 |
| # 600 | ≤ 53.0 | ≤ 43.0 | 21.1 ± 1.5 | ≥ 13.0 |
| # 700 | ≤ 45.0 | ≤ 37.0 | 17.9 ± 1.3 | ≥ 11.0 |
| # 800 | ≤ 38.0 | ≤ 31.0 | 14.7 ± 1.0 | ≥ 9.00 |
| # 1000 | ≤ 32.0 | ≤ 27.0 | 11.9 ± 1.0 | ≥ 7.00 |
| # 1200 | ≤ 27.0 | ≤ 23.0 | 9.90 ± 0.80 | ≥ 5.50 |
| # 1500 | ≤ 23.0 | ≤ 20.0 | 8.40 ± 0.60 | ≥ 4.50 |
| # 2000 | ≤ 19.0 | ≤ 17.0 | 6.90 ± 0.60 | ≥ 4.00 |
| # 2500 | ≤ 16.0 | ≤ 14.0 | 5.60 ± 0.50 | ≥ 3.00 |
| # 3000 | ≤ 13.0 | ≤ 11.0 | 4.00 ± 0.50 | ≥ 2.00 |
| # 4000 | ≤ 11.0 | ≤ 8.00 | 3.00 ± 0.40 | ≥ 1.30 |
| # 6000 | ≤ 8.00 | ≤ 5.00 | 2.00 ± 0.40 | ≥ 0.80 |
| # 8000 | ≤ 6.00 | ≤ 3.5 | 1.20 ± 0.30 | ≥ 0.60 (1) |
| # 10000 | 0.51~0.70 | |||
녹색 탄화규소 적용:
정밀정삭용 지석(자기 헤드 등) 및 연마용 지석용 소재
크리스탈, 실리콘, 각종 유리 및 자성재료 절단 및 정밀 랩핑 소재
세라믹, 초경금속, 신소재 등 절단 및 정밀 랩핑 소재
파인 세라믹 소재 / 내화 소재
SAW 필터용 랩핑 재료
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